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潔淨室防靜電地板的靜電控製方法有哪些???

時間:2018-12-14

潔淨室防靜電地板的靜電控製方法有哪些???
盡量減小靜電(是一種處於靜止狀態的電荷的產生 這是控製靜電三部曲的第一步,在這淨化工作環境中,最好的措施:
1、盡量采用性質相似器材,減少摩擦過程中產生的靜電電荷;

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2、盡量采用導靜電(是一種處於靜止狀態的電荷)型或靜電耗材型材料的器材,減少接觸摩擦分離過程中產生積累靜電荷;
3、盡量采用減少接觸摩擦分離而產生靜電荷的生產流程。

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泄放和中和 這是控製靜電三部曲的第二步,在微電子生產的淨化室中最通常的措施(指針對問題的解決辦法)是接地,采用導電性或耗散性材料泄放靜電荷,以及離子化消電器和靜電荷。

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